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英特尔High-NA EUV技术取得里程碑突破 百万片晶圆量产夯实先进电路制程根基

英特尔High-NA EUV技术取得里程碑突破 百万片晶圆量产夯实先进电路制程根基

2026年9月,全球半导体与电子电路制造领域迎来重大技术突破,英特尔官方正式宣布,其搭载高数值孔径极紫外光刻(High-NA EUV)技术的晶圆生产线累计处理晶圆数量突破100万片,该项产能数据已超越全球其他同业厂商同类工艺产能总和,标志着下一代先进电子电路制造技术正式从实验室研发阶段迈入规模化商用落地阶段,为2nm及以下超精密电路制程迭代筑牢核心技术底座。作为电子电路制造的核心光刻工艺,EUV技术是制约高端芯片、精密集成电路量产的关键瓶颈,而High-NA EUV相较于传统EUV,在分辨率、制程精度、电路布线密度上实现跨越式提升,能够有效解决先进制程下电路线宽过窄、寄生电容干扰、良率偏低等行业共性难题。
据英特尔制程技术研发团队公开披露,此次百万片晶圆量产验证,历时两年技术迭代与产线调试,全面攻克了High-NA EUV光刻的掩膜适配、光源稳定性、晶圆平整度控制等多项核心技术壁垒。在实际量产应用中,该技术可将集成电路最小线宽精度提升至0.5纳米级别,芯片内部电路布线密度提升35%以上,同时有效降低电路漏电率与功耗损耗,适配AI算力芯片、高端服务器芯片、车载智能芯片等超高精密电子电路产品的生产需求。相较于行业传统工艺,全新High-NA EUV量产体系能够将先进制程芯片良率提升18个百分点,大幅压缩高端电子电路产品的生产成本与生产周期。
当前全球电子电路行业正处于技术迭代的关键窗口期,AI算力爆发、智能终端升级、新能源汽车普及持续拉动高端精密集成电路需求,传统光刻技术已难以适配超大规模、超高密度电路的制造要求。此前,三星、台积电等头部企业均已布局High-NA EUV技术研发,但量产进度与产能规模均落后于英特尔。行业分析机构SEMI指出,英特尔此次产能突破,彻底改写了全球先进电子电路制造的技术格局,标志着北美企业在高端光刻电路制程领域的技术优势进一步巩固,将持续引领全球先进集成电路的技术迭代方向。
英特尔相关负责人表示,后续企业将持续加大High-NA EUV产线投资,2027年将完成多条全新量产产线搭建,进一步提升高端精密电路晶圆产能。同时,企业将开放技术合作体系,为全球芯片设计、电子制造企业提供先进制程代工服务,助力全球高端电子电路产业升级。业内专家预判,随着High-NA EUV技术规模化普及,未来三年全球2nm、1.8nm、1.5nm先进制程电路产品将实现量产落地,人工智能、高性能计算、自动驾驶等高端产业将迎来硬件性能的全面跃升,全球电子电路行业将进入超高精密制程的全新发展阶段
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